集成电路产业废水水质特征及处理研究

李金星^*，陈铸昊，陈冬冬

(深圳市城市规划设计研究院股份有限公司，广东 深圳 518000)

摘　要：　随着我国集成电路产业的快速发展，其废水处理问题成为重难点问题。因此亟需研究集成电路产业废水的水质特征及处理工艺，以实现高效、经济的废水处理。通过对国内多个有关集成电路产业废水处理设施案例的分析，结合国家和地方标准，总结了集成电路产业废水的水质特征、污染物指标及处理工艺。研究发现，集成电路产业废水具有排放量大、污染物种类复杂多样、污染物浓度高、可生物降解性差等特点。针对集成电路废水的水质特征，采用分类收集、分质处理、精细化管理的策略，通过优化预处理和采用成熟合理的处理工艺，可有效降低废水中的COD、氨氮、总氮、氟化物等重要污染物的浓度，能够实现废水的高效处理与资源化利用，为集成电路产业的可持续发展提供技术支撑。

关键词：　集成电路; 水质特征; 工业废水; 处理工艺

引文格式： 李金星，陈铸昊，陈冬冬. 集成电路产业废水水质特征及处理研究[J]. 市政技术，2025，43(12)：242-249. (LI J X，CHEN Z H，CHEN D D. Research on water quality characteristics and treatment of wastewater in integrated circuit industry[J]. Journal of municipal technology，2025， 43(12)：242-249.)